Известия высших учебных заведений

Прикладная нелинейная динамика

ISSN 0869-6632 (Print)
ISSN 2542-1905 (Online)

Для цитирования:

Трубецков Д. И., Рожнев А. Г., Соколов Д. В. Вакуумная микроэлектроника - бремя ожиданий // Известия вузов. ПНД. 1996. Т. 4, вып. 4. С. 130-148.

Статья опубликована на условиях лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International (CC-BY 4.0).
Полный текст в формате PDF(Ru):
Иконка PDF 1996no4-5p130.pdf
(загрузок: 0)
Язык публикации: 
русский
Рубрика: 
Новое в прикладной физике
Тип статьи: 
Научная статья
УДК: 
621.385:537.533

Вакуумная микроэлектроника - бремя ожиданий

Авторы: 
Трубецков Дмитрий Иванович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского (СГУ)
Рожнев Андрей Георгиевич, Саратовский филиал Института радиотехники и электроники имени В.А. Котельникова РАН (СФ ИРЭ)
Соколов Дмитрий Валерьевич, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского (СГУ)
Аннотация: 

Статья представляет собой популярное введение в новое направление современной электроники - в вакуумную микроэлектронику. Содержит исторический обзор, краткое изложение теории автоэлектронной эмиссии, описание технологии изготовления матричных автоэмиссионных катодов Спиндта и обсуждение использования приборов вакуумной микроэлектроники для усиления и генерации СВЧ сигналов.

Ключевые слова: 
-
Благодарности: 
Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 95-02-06261a).
Список источников: 
  1. Мандельштам Л.И. Лекции по теории колебаний. М.:Наука, 1972. 470 c.
  2. Brodie I, Spindt CA. Vacuum microelectronics. Adv. Electronics Electron Phys. 1992;83:1-106. DOI: 10.1016/S0065-2539(08)60006-2.
  3. Shoulders KR. Microelectronics using electron beam activated machining techniques. Adv. Comp. 1961;2:135-293. DOI: 10.1016/s0065-2458(08)60142-4.
  4. Шоулдерс K. Комплексные системы на микроминиатюрных электровакуумных приборах// Микроэлектроника и большие системы. М.: Мир, 1967. С.119.
  5. Голант M.Б., Бобровский Ю.Л. Генераторы СВЧ малой мощности. Вопросы оптимизации параметров. М.: Сов. радио, 1977. 336с.
  6. Голант M.Б., Бобровский Ю.Л. Мивитроны. M.: Сов. радио, 1983. 96с.
  7. Руска Э. Развитие электронного микроскопа и электронной микроскопии// УФН. 1988. T.154, вып.2. С.243.
  8. Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности // УФН. 1988. T.154, вып.2. С.261.
  9. Блинов Л.М. Ленгмюровские пленки // УФН. 1988. T.155, вып.3. C.261.
  10. Исаев B.A., Соколов Д.В., Трубецков Д.И. Электронные СВЧ-приборы с электростатическим управлением и модуляцией эмиссии // РЭ. 1990. T.35, вып.11. C.2241.
  11. Бондаренко Б.B., Шешин Е.П., Щука А.А. Приборы и устройства электронной техники на основе автокатодов // Зарубежная электронная техника. 1979, № 2. C.3.
  12. Ландау Л.Д., Лифшиц E.M. Квантовая механика. Нерелятивистская теория. М.: Наука, 1989. 768с.
  13. Fowler RH, Nordheim LW. Electron emission in intensive fields. Proc. R. Soc. London. А. 1928;119(781):173-181. DOI: 10.1098/rspa.1928.0091ю
  14. Модинос А. ABTO-, термо- и вторично-электронная эмиссионная спектроскопия. М.: Наука, 1990. 320с.
  15. Spindt CA, Brodie I, Humphrey L, Westerberg ER. Physical properties of thin-film field emission cathodes with molybdenum cones. J. Appli.Phys. 1976;47(12):5248-5263. DOI: 10.1063/1.322600.
  16. Bozler СО, Harris CT, Rabe S, Rathman Р, Goodnue WD, Hollis MA, Smith UL Arrays of gated field-emitter cones having 0.32 um tip-topic spacings. In: Technical Digest. Sixth Int. Vacuum Microelectronics Conf. 12-15 July, 1993, Newport, USA. P. 160.
  17. Дюжев Н.А., Козлов A.M., Махов B.H., Серовайский B.M. Быстродействие микроэлектронных триодных структур с автоэлектронными катодами // Микроэлектроника. 1990. T.19, вып.5. С. 478.
  18. Чесноков В.В. Электронные лампы с автоэлектронными катодами // Электронная техника. Cep. Приемно-усилительные лампы. 1968. № 4. С. 3.
  19. Рабинович М.И., Трубецков Д.И. Введение в теорию колебаний и волн. М.: Наука, 1984 (первое издание). 432с.; 1992 (второе издание). 456 c.
  20. Пономаренко В.И., Трубецков Д.И. Сложная динамика радиотехнической модели - аналога автогенератора на вакуумном микротриоде // Доклады РАН. 1994. Т. 337, № 5. С. 602.
  21. Пономаренко В.И., Трубецков Д.И. Сложная динамика автогенератора на вакуумном микротриоде: вычислительный и аналоговый эксперименты на радиотехнической модели // Изв. вузов. Прикладная нелинейная динамика. 1994. Т. 
    2, № 6. С. 56.
Поступила в редакцию: 
12.09.1995
Принята к публикации: 
07.10.1996
Опубликована: 
10.12.1996
  • 115 просмотров